無塵室(Clean Room)，亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎?？刂瓶諝鈶腋∥⒘舛龋瑥亩_到適當的微粒潔凈度級別。

一、無塵室等級的分類

依據美國聯邦政府頒布的標準【FederalAtandard（FS）209E，1992】，可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述，則可假設塵粒的尺寸是0.5um，無塵室等級應以特定塵粒尺寸的級數來表示。例如：10級在0.2um（塵粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75顆/立方英尺），1級在0.1um（塵粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35顆/立方英尺）。

二、無塵室等級的標準

無塵室等級標準的版本較多，CEIDI西遞小編整理兩個較常用的劃分標準，分別是國際標準IOS14644-1、中國標準GB/T16292-1996，

三、無塵室凈化工程的處理工藝

1.亂流式(TurbulentFlow)：

空氣由空調箱經風管與無塵車間內的空氣過濾器(HEPA)進入無塵室，并由無塵車間兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于無塵室等級為1,000-100,000級的。

優點：構造簡單、系統建造成本低，無塵室擴充比較容易，在某些特殊用途場所可并用無塵工作臺，提高無塵車間等級。

缺點：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染產品。另外若系統停止運轉再激活，欲達要求的潔凈度，需耗時相當長一段時間。

2.層流式(Laminar)：

層流式空氣氣流運動成均勻的直線形，空氣由覆蓋率100%的過濾器進入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風，此型式適用于無塵室等級需求較高的環境使用，一般其無塵室等級為Class1~100。

其型式可分為二種：

1）.無塵車間水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁的回風系統回風，塵埃隨風向排出室外，一般下流側污染較嚴重。

優點：構造簡單，運轉后短時間內即可變穩定。

缺點：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。

2）.無塵車間垂直層流式：房間天花板用ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可獲得較高的潔凈度，在生產中或工作人員所產生的塵?？煽焖倥懦鍪彝獠⒉粫绊懫渌ぷ鲄^域。

優點：管理容易，運轉開始短時間內即可達穩定狀態，不易受作業狀態或作業人員所影響。

缺點：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板的吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。

3.復合式(MixedType)：

復合式是將亂流式及層流式予以復合并用，可提供局部超潔凈空氣。

無塵車間潔凈隧道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將生產區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員的工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質，超大規模集成電路生產大都采用此種型式。

潔凈隧道另有二項優點：彈性擴充容易、維修設備時可在維修區輕易執行。

無塵車間潔凈管道(CleanTube)：將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離，少量的送風即可得到良好的潔凈度，可節省能源，不需人工的自動化生產線最適宜使用。藥品、食品及半導體均適用。

無塵車間并裝局部無塵室(CleanSpot)：將亂流無塵室內的產品生產區的潔凈度等級提高為10~1000級以上，為生產用。