電鏡潔凈實(shí)驗(yàn)室環(huán)境建設(shè)要點(diǎn)  CEIDI西遞

電鏡要求的潔凈等級(jí)至少應(yīng)達(dá)到萬級(jí)，室內(nèi)噪音小于60分貝。使用環(huán)境條件主要涉及溫度、濕度、震動(dòng)、磁場強(qiáng)度、接地等幾個(gè)因素。溫濕度控制需配備空調(diào)和除濕機(jī)，特別是在南方地區(qū)一定要保證對(duì)濕度的控制，避免溫濕度對(duì)電鏡電子部件的影響。由于場發(fā)射掃描電子顯微鏡的分辨率較高，對(duì)震動(dòng)和磁場強(qiáng)度的要求也較高，所以需盡量避免震動(dòng)和雜散磁場的干擾。電鏡實(shí)驗(yàn)室內(nèi)部配套系統(tǒng)建設(shè)環(huán)節(jié)，因?yàn)樗凰苹瘜W(xué)實(shí)驗(yàn)室等，不需要重點(diǎn)放在有害氣體的排放、新風(fēng)的設(shè)置、污染水的排放等方面。對(duì)于電鏡實(shí)驗(yàn)室CEIDI西遞更注重恒溫恒濕、電氣系統(tǒng)等環(huán)節(jié)。

電鏡實(shí)驗(yàn)室配套系統(tǒng)環(huán)境建設(shè)要點(diǎn)：

恒溫恒濕：溫度20℃，相對(duì)濕度7%以下。

震動(dòng)要求：2Hz以下 小于1um2-9Hz 小于2um10Hz以上 小于3um 。

冷卻循環(huán)水要求：水溫20℃±5℃，誰呀2-5公斤/㎝，流量3-5升/分，PH中性不含雜質(zhì)的正劉書或無離子水。

噪音：至少小于60分貝。

電氣：配輸出功率大于電鏡輸入功率3~5KVA的單獨(dú)交流穩(wěn)壓器和一個(gè)穩(wěn)頻器，使市電經(jīng)穩(wěn)壓穩(wěn)頻后再輸入電鏡儀器。很多進(jìn)口電鏡規(guī)定接地電阻小于100Ω，單最好小于5~10Ω。電鏡的保護(hù)地線要設(shè)專用。電源開關(guān)應(yīng)設(shè)置在緊急情況（地震火災(zāi)等）下能立即斷電的位置。在電鏡或其他精密儀器附近還要設(shè)置能階段火線和中線二者的熔化絕緣開關(guān)。

照明：實(shí)驗(yàn)室選用日光燈和白熾燈，光線柔和即可。為了便于維修和清潔，掃描電鏡間的照度應(yīng)能>500勒克斯(Lux,簡稱lx)。為減輕操作電鏡時(shí)工作人員眼睛的疲勞，并能看淸和便于調(diào)節(jié)的襯度，掃描電鏡正常工作時(shí)的照度最好控制在50?150勒克斯。

目前，像電鏡實(shí)驗(yàn)室這類擁有國際上頂尖且高額儀器設(shè)備的實(shí)驗(yàn)室越來越多，在建設(shè)實(shí)驗(yàn)室的過程中，會(huì)有越來越精確的技術(shù)指標(biāo)在不斷的工程實(shí)踐中校正。像CEIDI西遞這類專注于實(shí)驗(yàn)室、潔凈室工程的集成服務(wù)商，擁有大量的工程實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)基礎(chǔ)，并以此為設(shè)計(jì)模型便于企業(yè)內(nèi)部總結(jié)經(jīng)驗(yàn)，該經(jīng)驗(yàn)會(huì)愈加規(guī)范和科學(xué)地應(yīng)用于之后的各潔凈項(xiàng)目中。

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